Hay 2 incidentes a los que esta pregunta podría estar haciendo referencia. El primero fue la rendición de Luke. El segundo fue cuando Luke entregó su sable láser.
Cuando Luke se entregó a Vader, lo hizo para darles a las fuerzas rebeldes una mejor oportunidad de apagar el generador de escudos. Sabía que su presencia había sido detectada y decidió sacrificarse como una distracción: sabía que Vader estaba preocupado por encontrar y convertir a Luke. Cuando se vio llevado ante el Emperador (nadie de la rebelión sabía que Palpatine estaba allí en persona), Luke decidió no luchar para prolongar su distracción. Tampoco quería pelear con su padre: Luke había decidido creer que Anakin todavía vivía dentro de Vader y, con todo el celo irracional de un huérfano, anhelaba recibir el amor y la aprobación de su padre.
En cuanto al segundo incidente, Luke se desarmó cuando se dio cuenta de lo cerca que había estado de matar a su padre por ira y miedo. En ese momento, decidió aceptar la derrota en lugar de convertirse en lo que luchó. Este fue un triunfo personal para Luke, pasando la prueba de carácter que su padre había fallado. Sabía que su victoria vendría a costa de la rebelión aplastada. Pero durante el proceso de electrocución, su aceptación estoica de las grietas de la muerte y Luke le pide ayuda a su padre (recuerde que, en el fondo, Luke cree que su padre lo ama).
Vader está al lado del Emperador, vivo porque su hijo encontró la fuerza para rechazar el lado oscuro, una fuerza arraigada en el amor por un padre malvado ausente. Al presenciar a su maestro (a quien desea matar para hacerse cargo) matando a su hijo (a quien no solo ama, sino que ahora también respeta), Vader toma medidas.
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El incidente número 1 fue un sacrificio de Luke, y esperaba que su padre lo amara lo suficiente como para no entregarlo al Emperador.
El incidente # 2 no fue ni un sacrificio ni una estratagema, sino el rechazo final de Luke del lado oscuro a costa de su vida y su causa.
No creo que nadie (Luke, Yoda, Palpatine o el propio Vader) haya planeado que Vader haga lo correcto.