La respuesta es bastante relativa. Depende de qué superhéroes estés hablando. Bueno, uno de los primeros superhéroes del cómic fue Superman, creado en 1933 y vendido a DC en 1938, que inició la Edad de Oro de los cómics.
Antes de Superman, existían The Phantom, Tarzan, Conan the Barbarian, Zorro, The Shadow, Doc Savage, Popeye, Hugo Hercules, Don Quijote (si lo piensas como uno), etc.
Considerando solo los cómics, Dr. Occult (1935), The Clock (1936) y Sheena (1937) fueron tres superhéroes que debutaron antes que Superman.
Flash Gordon, aunque apareció en los cómics de periódicos en la década de 1930, tuvo un impacto considerable en los superhéroes actuales.
Retrocediendo en el tiempo, los semidioses como Hércules y Hanuman eran técnicamente semi-superhéroes mientras luchaban contra el crimen, y tenían habilidades mejoradas, pero no usaban disfraces.
En lo que respecta a Batman, Spidey y Iron-Man, hicieron sus primeras apariciones en 1939, 1962 y 1963, respectivamente.
Antes de Batman, Zatara, Arrow, Crimson Avenger y Namor the Sub-Mariner, y los anteriores a Superman, respectivamente, debutaron.
Antes de Spider-Man, Wonder Man, The Flame, Sandman, Blue Beetle, Bozo the Iron Man, Amazing Man, The Human Torch, The Angel, Shock Gibson, Doll Man, Cap’n Comet, Phantom Stranger, Marvelman, Cap’n Flash, Martian Manhunter, Batwoman, Flash, The Challengers of the Unknown, The Leigon of Superheroes, Super Girl (tryout), Adam Strange, Herbie Popnecker, Lady Blackhawk, Supergirl, The Fly, Green Lantern, Kid Flash, Cap’n Atom , Elongated Man, Justice League, The Atom, the Fantastic Four, Flygirl, Hawkman, The Jaguar, Ant-Man, The Hulk y los superhéroes antes de que Batman hiciera su debut.
Antes de Iron Man, los superhéroes antes de Spidey, Thor, Dr. Solar, Wonder Wart-Hog y Magnus, Robot Fighter hizo su debut. 
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Espero que la respuesta ayude! ¡Quédate súper! 😀
Fuente: Lista de debuts de superhéroes